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Le Responsable R&D d’ECP, David Cheung, a présenté un poster sur les spécifications de propreté de boites 450mm lors de la conférence APCM à Dublin du 10 au 12 avril 2017. Ceci a permis de faire le point sur les dernières avancées concernant les attentes sur cette future technologie.

     

 

Poster ECP